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除了传统的带有机械传感器的真空表(例如，波登，胶囊表)外，带有电子隔膜传感器的膜片压力表(压电和电容表)也很成熟。要测量的压力由隔膜与参考真空分开，并与后者进行比较。膜片的运动由压阻系统或膜片是电容器(电容真空系统)的一部分来记录。为了提高耐化学性，隔膜通常由氧化铝陶瓷制成。压力测量与气体类型无关。
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