1. 油扩散泵与系统

油扩散泵从韦尔奇被用来生成一个高和超高真空的压力范围5 x107mbar极高的抽速。除了单泵,韦尔奇还提供完整的油扩散泵系统。

请注意操作油扩散泵必须连接前级泵。